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SEM image의 생성원리, charging 현상 해결방안, OM vs SEM 의 image 비교

*정*
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최초 등록일
2011.11.16
최종 저작일
2010.05
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소개글

SEM image의 생성원리, charging 현상 해결방안, OM vs SEM 의 image 비교를 정리한 레포트 입니다.
한양대 재료공학실험에서 A+를 받은 자료입니다.

목차

1. SEM image의 생성원리

2. Sample 관찰시 charging 현상 해결방안

3. OM vs SEM 의 image 비교

본문내용

▶우선, SEM의 특징 및 원리에 대해 간단히 살펴보면 다음과 같다. - 주사 전자 현미경(SEM)은 어떤 물질에 에너지를 가할 경우 물질 고유의 특성인
x-선 에너지가 발생하는 것을 스캐닝 함으로써 구성원소를 알아낼 수 있고, 그 강도로부터 정량분석을 할 수 있는 기기이다.
고체 상태에서 작은 크기의 미세조직과 형상을 관찰하는데 가장 다양하게 쓰이는 현미경 초점 심도가 크기 때문에 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 관찰하는 것처럼 보여준다.

이를 수업시간에 배웠던 내용에 초점을 맞추면 다음과 같다.

►그림 1에 나타난 것과 같이 SEM의 장치는 전자선을 방사하기 위한 부분(결상부)과 시료로부터 나오는 전자(2차전자)를 검출하여 현미 경상을 만드는 부분(방사부)으로 나눌 수 있다.
시료에는 직경 10nm 이하의 전자빔이 주사된다. 결상부는 시료로부터 나오는 전자의 검출기부와 증폭기, 주사코일과 같이 화면에 표시되는 CRT 의 각 부분으로 이루어져 있다. 그림1과 같은 장치에서 상이 나타나는 기구는 이하와 같다. 즉, 그림2에 나타나는 주사코일에 의해 가느다란 전자빔을 시료면으로 이동시켜 시료표면상의 미소영역을 주사선으로 묻음으로써 영역 내 전체로부터 연속적으로 2차전자를 발생케 한다. 이 2차전자를 검출기에 모아서 양적변화를 전기신호로 변환시켜 CRT 에 반영시킨다.

참고 자료

없음
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