반도체 제조공정

등록일 2002.10.15 한글 (hwp) | 17페이지 | 가격 1,000원

소개글

실험 때문에 힘들게 썼던 레포트 입니다.
조금이나마 도움이 되었으면 해서 올립니다..

목차

웨이퍼 제조 및 회로 설계
웨이퍼 가공
조립 및 검사
NMOS 트랜지스터 제조공정

본문내용

웨이퍼 제조 및 회로 설계

단결정 성장 (Crystal Growing)

고순도로 정제된 실리콘(규소) 용액을 주물에 넣어 회전시키면서 실리콘 기둥(봉)을 만든다.



단결정 성장은 실리콘 웨이퍼 제조를 위한 첫번째 공정이다. 고순도의 일정한 모양이 없는 폴리 실리콘이 고도로 자동화된 단결정 성장로 속에서 단결정봉으로 변형된다. 고진공 상태에서 섭씨 1400도 이상의 고온에 녹은 폴리 실리콘은 정밀하게 조절되는 조건하에서 큰 직경을 가진 단결정봉으로 성장한다. 이와 같은 성장과정이 끝나면, 단결정봉은 실내온도로 식혀지고 각각의 단결정봉이 여러 조건에 부합되는지를 평가하게 되고, 단결정봉은 부분별로 가공되어 정확한 직경을 갖게 되는 것이다.

실리콘 단결정 제조법에는 floating zone method 와 czochralski method 가 있다.
웨이퍼(Wafer)의 제작을 위해 우선 단결정 실리콘의 ingot(주괴)을 만들어야 하며 이 실리콘 인곳을 자르고 다듬는 공정을 거쳐 웨이퍼를 제작한다. 실리콘 웨이퍼의 원료는 석영암 (Quartize)이라 불리는 순수한 모래(SiO2)이며, 이것을 탄소(Coal, Coke, Wood,...)와 함께 노(Furnace)에 넣으면 다음과 같은 반응을 일으킨다.
*원하는 자료를 검색 해 보세요.
  • 웨이퍼 제조 공정, 반도체 제조 공정, 반도체 7페이지
    담당교수 목 차 1. 반도체란? 2.웨이퍼 제조 공정 3.반도체 제조 공정 ... 재료: 웨이퍼, 마스크, 리드프레임 ① 웨이퍼 (wafer) : 반도체물질로 ... . 마스크 제작 반도체를 개발 및 생산하기 위한 일종의 원판 필름을
  • [반도체]반도체웨이퍼 제조공정 및 단결정성장 29페이지
    Preparation : 반도체 제조공정은 크게 재료산업과 소자산업으로 ... LG실트론이나 하이닉스 반도체등의 회사가 자체적으로 웨이퍼를 제작하고 ... 웨이퍼의 직경을 늘리기 위해 전 세계의 반도체 회사들은 지금 반도체전쟁을
  • 반도체 제조공정 및 동향 [ex)웨이퍼,식각,금속배선,EDS,] 20페이지
    , 제조퍼 가공공정 반도체 제조 회사라고 하면 일반적으로 웨이퍼 가공부터 ... 웨이퍼 표면에 반도체 소자난 IC를 형성하는 제조공정을 일컫는다. 가 ... , 반도체 공정에서 EDS Test를 반드시 실행해야 하는 이유는 웨이퍼
  • [반도체집적회로공정] 웨이퍼 제조공정 10페이지
    귀추가 주목되고 있다. 300㎜(12인치)웨이퍼반도체소자의 제조원가를 ... 가 사용되고 있지만 300㎜(12인치)웨이퍼가 개발되어 반도체 업계의 ... 된다. 이와 같이 반도체 업계가 300㎜웨이퍼 시대의 도래에 기대를 걸고
  • 반도체제조공정 10페이지
    ) 등이 있다. 2. 반도체제조기술 [2] 반도체는 최초 웨이퍼 ... 적으로 이온주입은 반도체 웨이퍼 내에 불순물(B, P, As 등의 도판트)을 ... 1. 반도체의 정의 [1] 반도체(semiconductor)란 전기전도
  • 반도체 생산공정 24페이지
    공학과의 관계 1. 반도체 제조 공정 순서도 2. 준비단계 2-1. 웨이퍼 ... 반도체 생산공정 및 기계공학 Contents 반도체 제조 공정 순서도 ... 사용한다. 4-5. 성형 공정 Molding 공정반도체 제조의 조립
  • 반도체 제조공정 24페이지
      웨이퍼 위에 회로 패턴을   사진 찍는 공정 마스크 반도체 제조 공정 9 ... 웨이퍼 제조 및 회로 설계 웨이퍼 가공 조립 및 검사 반도체 제조 공정 ... →금속연결→성형→최종검사 반도체 3 대 원재료 : 웨이퍼 , 마스크
더보기
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      4. 지식포인트 보유 시 지식포인트가 차감되며
         미보유 시 아이디당 1일 3회만 제공됩니다.
      상세하단 배너
      최근 본 자료더보기
      상세우측 배너
      상세우측 배너
      추천도서
      반도체 제조공정