중국대학 수업과제 光电检测技术在微机电系统的应用

소개글

중국대학에서 光电检测技术수업을 듣고 과제 제출.
중문 작성.

목차

1.引言
2. 微机系能提供我什
3.早期究我以示
4.MEMS的究容用的情

본문내용

1.引言
MEMS的技和方法已成了MEMS、、制造及量控制和价的之一。微机系（MEMS）的迅速展精密技提出了新的要求。由于MEMS具有的尺寸小、集成度高等特点，的技方法已不能完全足需要，制精度高、便捷、成本低的新的手段已成MEMS展的迫切需要。
在MEMS、制造等程中，主要需要的包括微机械量、微何量、微材料特性及，其中方法相比成熟，本文微机械量、微何量、微材料特性三方面MEMS技和方法行。本文合具的事例，探光技在机的用。
2. 微机系能提供我什
首先介一下MEMS.定上, MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是微机系的。MEMS(微机系)是感知、算和行的融合。也是一制造技。目前MEMS加工技又被泛用于微流控芯片合成生物等域，而行生物化等室技流程的芯片集成化。MEMS主要包括微型机、微型感器、微型行器和相的理路等部分，是在融合多微加工技，用代信息技的最新成果的基上展起的高科技前沿科。
MEMS技的展了一全新的技域和，采用MEMS技制作的微感器、微行器、微型件、微机械光器件、空 微子 器件、力子器件等在航空、航天、汽、生物、境控、事以及乎人所接到的所有域中都有着十分的用前景。MEMS技正展成一巨大的，就象近20年微子和算机人的巨大化一，MEMS也正在孕育一深刻的技革人社生新一的影。目前MEMS市的主品力感器、加速度、微陀螺、墨水咀和硬等。大多工察家，未5年MEMS器件的呈迅速增之，年平均增加率18%，因此机械子工程、精密机械及器、半物理等科的展提供了好的机遇和峻的挑。
MEMS本身不是某品。那什重要？根本上，我,MEMS把子和机械特性合了起。可以同行物理、化、生物等方面的功能,因能同生化反和作用。上是的片上系,是科和技的融合,而且生物也可以之兼容。
3.早期究我以示

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