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플라즈마의 정의 및 성질, 발생원리, 빛은내는 이유

*승*
최초 등록일
2011.10.01
최종 저작일
2011.09
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소개글

플라즈마에 대한 기본정의 및 성질 그리고 발생원리 및 플라즈마의 빛발생원리에 대한 레포트자료입니다.

목차

플라즈마의 정의

플라즈마의 성질

플라즈마 발생원리

플라즈마가 빛을 내는 이유

본문내용

2. 플라즈마의 특성

- 전기적 특성 플라즈마는 원자나 분자에 속박되지 않은 전자를 많이 갖고 있지 때문에 외부네서 전계를 걸어주면 전류를 흘릴 수 있는 특성이 있다. 전기 전도도는 일반 고체와 달리 온도가 올라 갈수록 증가하며(), 온도가 약 1000만도 이상이 될 때, 구리와 같은 전기 전도도 값을 가지게 된다.

- 자기적 특성 플라즈마 내부에 있는 전자와 이온들은 자계를 걸어주면 운동방향이 자계방향과 직각으로 원운동을 하게 되며 이러한 방식으로 플라즈마를 한쪽으로 잡아 놓을 수 있다. 이러한 플라즈마의 자기적 특성을 이용하여 플라즈마를 원하는 곳에 집중시킬 수 있게 되고, 플라즈마의 밀도가 높아지면 플라즈마의 전기 저항이 낮아지게 된다. 즉, 이러한 자기적 특성을 이용하면 전압을 상승시키지 않고도 높은 밀도의 플라즈마를 생성시킬 수 있다.

- 화학적 특성 플라즈마 내부에는 이온과 자유전자가 열운동을 하기 때문에 분자나 원자를 여기, 전리 시킬 수 있다. 이와 같은 특성을 이용한 것이 PECVD(Plasma Enhanced CVD)와 RIE(Reactive Ion ETching)등이다.

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