[재료공학] CVD, PVD에 관하여...

등록일 2002.10.02 한글 (hwp) | 9페이지 | 가격 1,800원

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본문내용

공구재로에의 요구특성으로는 내마모성을 비롯해 정적기계강도, 피로강도,
파괴인성, 내열성, 내산화성등 피가공물과의 화학적 친화성 등을 들 수 있다.
이러한 특성간의 중요성정도는 절삭용도나 내마모용도 등의 용도분류에 따
라서, 또, 사용조건에 따라서도 다르지만, 이러한 특성을 동시에 만족시키지
못하면 뛰어난 공구재료라고는 할 수 없다.
그 때문에 공구재료의 개발 및 개량이 적극적으로 행해져, 탄소공구강, 합금
공구강, 다이스...강, 고속도강등의 공구강을 비롯해, 스테라이트, 초겨합금,
서미트, 세라믹, CBN 소결체, 다이아몬드 소결체 등 이 탄생했지만, 과거 10
수년간에 단번에 수요가 확대한 코팅 공구가 공구 재료면에서의 개 량에 대
한 역할이 크다.
코팅공구란 일반적으로 초경합금, 고속도강등의 표면에 TiC, TiN, AlO등의
경질무기화합물(경질 세라믹)을 기상반응을 이용해서 증착 피복한 공구를 말
한다. 기상코팅의 하나인 방법으로의 CVD는 Chemical Vapor Deposition의
약자로 기상에서 고상을 석출하는 과정으로 화학적 증착법이라고 불리는 방
법이며, 진공증착, 스파터링, 이온 프레팅 등의 물리적 증착법(PVD: Physical
Vapor Deposition)과 구별해서 제안된 명칭이다.
이 기술은 로안에서 가열된 처리품에 피막성분을 함유하는 원료의 혼합가스
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