각종 진공 펌프 원리 사용 방법 sputter 1

소개글

반도체 장비 진공 펌프에 대한 조사와 sputter에 대한 리포트 입니다.

목차

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본문내용

1.각종 진공 pump 원리 및 사용방법
1) 진공 pump의 분류
pump의 종류는 그 저진공, 고진공, 초고진공 등으로 나눌 수 있으나, 어떤 펌프를 어떤 압력에서 사용한다는 명확한 경계가 없고, 제조회사나 사용방법에 따라 조금씩 차이가 난다. 또한 작동 원리에 따른 분류로는 크게 positive displacement 펌프와 entrapment 펌프로 나눌 수 있다.
- positive displacement 펌프: 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리 펌프 (rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump) 등 대부분의 기계적인 pump가 이에 속한다.
- entrapment 펌프: 배기시킨 기체가 여전히 진공 용기나 펌프 속에 남아 있는 경우이다. ‘포획 펌프(capture pump)`라고도 부른다. 여하튼 진공 용기 내부의 공간으로부터 기체 분자 수를 제거하기만 하면 압력이 낮아지므로 이런 것들도 펌프라고 부를 수 있다. 흡착 펌프(sorption pump)나 냉온 펌프(cryopump), 이온 펌프(ion pump)가 이에 속한다.
ⅰ) Positive displacement 펌프
▶ 로타리 펌프 (Rotary pump)

참고 자료

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