[기초재료및실험]면저항측정기의 이해

소개글

기초재료및실험

목차

없음

본문내용

실험 제목
- 면저항 측정기(4-Point probe)의 이해
실험 목적
- 웨이퍼 위에 증착된 물질의 면저항을 측정하여 면저항 측정기의 원리를 이해한다.
이론적 배경
- CMT-SR1000N
Sheet resistance :
Measuring method; contact by 4-point probe
Measuring range; 1MΩ/sq ~ 2MΩ/sq tech
Resistivity :
Measuring method; contact by 4-point
probe(input thickness)
Measuring range; 10MΩcm ~ 200KΩcm
Current source range :
DC current; 10nA ~ 1000mA
DVM; 0V ~ 2000mV
Measurement accuracy :
±0.5%(VLSI Standard wafer, when 23℃)
CMT-SR1000N은 중앙1점 자동 접촉시스템으로 작은 시료를 버튼 하나로 간편하게, 고 정밀 JANDEL 4탐침을 이용하여 면저항을 측정하고 LCD창을 이용하여 측정결과를 Ohm/sq단위로 바로 알 수 있는 표면저항측정기이다. PC와 연결하면 측정결과를 순차적으로 내려 받을 수 있는 프로그램을 제공한다.

참고 자료

- 참고 서적
William D. Callister, Jr. (2004) 『Materials Science and Engineering』 Wiley
William F. Smith / Javad Hashemi(2008) 『Foundations of Materials Science and Engineering』 McGraw-Hill
- 참고 Site / 사진출처
http://www.dt.co.kr
www.fpp.co.kr