반도체 공정

등록일 2002.09.06 한글 (hwp) | 12페이지 | 가격 1,100원

목차

♣반도체 소자를 만드는데 필요한 공정♣
1. Wafer 제작
1.1 인곳(Ingot)의 제작
1.2 대표적인 제작 방법
(1) 인상법(Czochralski Growth)
(2) 부유대역 공정(Floating Zone growth)
1.3 웨이퍼의 가공
(1) 연삭(grinding)
(2) 절단(slicing)
(3) 연마(lapping)
(4) 면손질(rounding)
(5) 에칭(etching)
(6) 광택내기(polishing)
(7) 세정(cleaning)

2. Deposition(박막증착기술)
2.1 CVD
(1) 장점
(2) 종류
2.2 Sputtering
(1) 장점
(2) 단점
3.3 Spining

3. Oxidation(산화공정)
3.1 산화막을 기르는 방법
(1) dry oxidation
(2) wet oxidation
3.2 산화막의 용도

4. Diffusion(확산공정)
4.1 interstitial mechanism
4.2. Vacancy mechanism
4.3 Interstitialcy mechanism

5. Implantation(이온주입공정)
(1) 장점
(2) 단점
(3) 응용 분야

6. Metallization(전극)
6.1 금속박막을 입히는 방법
(1) Sputtering
(2) Evaporation

7. Lithography(사진공정)
7.1 노광기구의 성능
7.2 Photoresist

8. Etching(식각공정)
8.1 Wet etching
8.2 등방성 etching
8.3 방향성 에칭
8.4 플라즈마 보조 에칭

본문내용

1. Wafer 제작

1.1 인곳(Ingot)의 제작

☞웨이퍼의 제작을 위해 우선 단결정 실리콘의 Ingot(주괴)을 만들어야 하며 이 실리콘 인곳을 자르고 다듬는 공정을 거쳐 웨이퍼를 제작.

․순수한 모래를 실리콘으로 정제할 때의 화학반응


1) 위 과정에서 98%의 순도를 갖는 인곳 생성
2) HCl로 처리 → 삼염화실란(SiHCl3) 생성
3) 삼염화실란을 증류시켜 불순물 제거
4) 고순도의 다결정 재료인 EGS(Electronic grade poly-Si)를 생성.


1.2 대표적인 제작 방법

(1) 인상법(Czochralski Growth)


- 1950년대 초에 Teal이 개발
- 단결정 실리콘을 성장시키는 대표적 방법
- 다결정 실리콘을 노안에 넣고 가열하여 녹인후 Seed에 접촉
- Seed와 도가니를 반대로 회전하면서 어올리며 냉각
- 열에 대한 스트레스가 강하고, 직경이 큰 인곳의 생산이 가능하지만 불순물의 농도가 높다
*원하는 자료를 검색 해 보세요.
  • [웹프로그래밍] 홈페이지 제작 순서 26페이지
    제작단계 1. Requirements Analysis 2. ER Diagram 3. Story Board & Use Case 4. Web & SQL Scripting 5. Backup & Recovery Plan ..
  • tvs 공법 17페이지
    -철근콘크리트 무량판 바닥 슬래브의 단면에서 구조적 기능을 하지 않는 콘크리트 슬래브의 중앙부에 캡슐형 또는 땅콩형 경량체를 삽입함으로써 자중을 줄이는 공법 -기존의 플랫 플레이트구조의 단점을 보완하고 장점을 살리는 공법..
  • [A+ 받은]차량동역학 설게 슬립율 측정Photosensor를 이용한 slip ratio .. 8페이지
    2.1 프로그램 구성 마이크로프로세서 칩을 이용한 C 언어 프로그래밍을 이행한다. 실험에 사용하게 될 마이크로프로세서 칩은 ATtiny2313으로 채택하였고 C언어 프로그램은 HP Info Tech 사의 CodeVis..
  • 포토 공정과 에치공정 3페이지
    photo 공정 1. 반도체 포토리소그래피 공정의 개요 포토리소그래피(Photolithography)는 원하는 회로설계를 유리판 위에 금속패턴으로 만들어 놓은 마스크(mask)라는 원판에 빛을 쬐어 생기는 그림자를 웨이..
  • 반도체제작공정-박막증착공정 25페이지
    CVD overview (II) Types of CVD reactions Pyrolysis – thermal decomposition Reduction Oxidation Compound formation Dispro..
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      최근 본 자료더보기
      추천도서