[반도체] 반도체 제조공정

등록일 2002.07.10 한글 (hwp) | 4페이지 | 가격 1,000원

목차

1. 모래에서 회로까지의 실리콘 제조공정
2. 재료형성
3. 결정 성장 및 웨이퍼 형성
4. 웨이퍼 가공
5. 가공절차
6. 웨이퍼의 선별

본문내용

5. 가공절차
반도체 가공시에 각 웨이퍼는 여러가지 공정을 거치게 되는데, 사용된 기술(MOS, 바이폴라등)과 소자나 회로의 복잡도와 관련이 있다. 간단한 금속 게이트 MOS 소자는 기본적으로 다섯번의 마스킹과 한번의 확산을 하는 반면, 기본적인 바이폴라 웨이퍼는 네번의 확산과 일곱번의 마스킹을 하게 된다. 그 조작은 크게 세가지 경우로 나눌 수 있다.
1. 불순물 주입단계(Doping) :층 형성, 패턴 형성, 불순물 주입의 순서대로 이루어지며 이것은 반도체 소자 제조에서 가장 많이 쓰이는 단계이다
2. 금속 배선 단계(Metallization) : 웨이퍼 표면에 도핑단계를 통해 전기적 활성영역이 형성되면, 그 지역 혹은 소자는 배선이 되어야 한다. 반도체 기술에서의 배선은 SiO2나 Si3N4위에 적층된 알루미늄 박막으로 형성된다. 그 아래의 웨이퍼 표면의 지역과 콘텍트를 만들기 위해 절연막에 구멍을 내서 알루미늄이 통하게 되는데, 이 때 마스킹 스텝이 필요하다. 이 마스킹 스텝의 이름이 "콘텍트 마스크"이다. 이 단계는 웨이퍼 표면의 여러 소자를 연결하는 선을 형성하는 마스킹 스텝으로 끝이 난다.

*원하는 자료를 검색 해 보세요.
  • 반도체 소자 공정기술 1~10단원 솔루션 53페이지
    1.1990년대 중반에 미국 경제에서 주택임대는 14%, 자동차 산업은 4%의 이익을 가져다준 반면 첨단산업은 약 27%의 성장을 가져다주었다. 반도체산업이 커진 이유는 반도체의 가격이 낮아지는 동안 반도체 능력은 일관되게 증가했기 때문이다. 2. Lee De Fore..
  • [반도체]반도체공정과 관련된 ppt자료 23페이지
    IC Design상품 설계 →소비자의 수요에 맞게 상품 설게 기능 설계 →설계가 올바르게 되었는지 Simulation을 통해 확인 논리회로 설계 →NAND/NOR Gate를 이용하여 구체적인 회로 설계 Layout 설계 → 부품의 배치나 회로 패..
  • [반도체 공학, 반도체 제조, 반도체 공정]반도체 공정의 이해(Si Base) 23페이지
    1. 반도체 Device 제작 과정(Si Base)- p-type Si 기판에 산화막을 성장시킨다(Furnace).※화합물은 CVD공정을 거쳐 산화막을 형성한다.- Spin Coater를 통해 PR을 도포한다 ......2. Oxidation- Si Substrate에..
  • 반도체 공정 ppt 35페이지
    전기 전도도에 따라 물질을 분류하면 크게 도체, 반도체, 부도체로 나뉜다. 반도체는 순수한 상태에서 부도체와 비슷한 특성을 보이지만 불순물의 첨가에 의해 전기전도도가 늘어나기도 하고 빛이나 열에너지에 의해 일시적으로 전기 전도성을 갖기도 한다반도체 제조 공정1. 단결정..
  • [반도체 제조공정] 반도체 제조공정 28페이지
    전기전도(電氣傳導)가 전자와 정공(hole)에 의해 이루어지는 물질로서 그의 전기저항 즉 비저항(比抵抗)이 도체와 절연체 비저항값의 중간값을 취하는 것1.반도체의 종류 (1) 진성 반도체(purity semiconductor) 4족에 속하는 원소 1종류로만..
  • [반도체] 반도체 제조 공정 71페이지
    1. 반도체(半導體)의 정의 전기전도(電氣傳導)가 전자와 정공(hole)에 의해 이루어지는 물질로서 그의 전기저항률 즉 비저항(比抵抗)이 도체와 절연체 비저항값의 중간값을 취하는 것. 일반적으로 실온(室溫)에서 10-1 ∼ 1012 [Ω ·m..
  • 반도체 제조 공정의 종류와 기법 서술 17페이지
    사진공정을 통해 집적회로를 구성하는 트랜지스터,저항,커패시터 등에 해당하는 패턴을 웨이퍼의 표면에 구현한다. 반도체 제조공정에서는 이러한 과정들이 여라 차례 반복되면서 하나의 칩을 만들어 내게 된다.가장 중요한 반도체 기술이 사진 공정이고 이에 관련 장비는 반도체공정 ..
더보기
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      최근 본 자료더보기
      추천도서