CVD 및 ALD의 원리

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최초 등록일: 2011.02.06
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반도체 증착장비인 CVD와 ALD의 원리와 종류를 종합한 영어 발표자료입니다.

본문내용

Reactor System Requirements

-Gas and vapor delivery lines
-Reactor main chamber - hot wall, cold wall
-Materials of construction / geometry
-Substrate loading and unloading assembly
-Energy source(s) - RF and radiant heating, plasma, photo irradiation
-Vacuum systems
-Exhaust system - byproducts removal
-Process control and measurement gauges
-Gas flow rate, pressure, temperature, deposition time
-Safety equipments

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