진공증착에 의한 박막제작 및 두께 측정 레포트.

소개글

진공증착에 의한 박막제작 및 두께 측정 레포트.

목차

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본문내용

◎ 실험목적
진공증착기를 이용하여 금속의 반투과 및 고반사 박막을 제작하므로써 진공 장치의 원리를 이해하고 제작된 박막의 반사율 및 투과율, 두께 등을 측정한다.

◎ 실험이론
진공증착(vaccum evaporation)

시료
도가니(boat)
전류 feedthrough
진공증착이란 vaccum chamber 내에서 고체 시료를 여러 가지 방법을 이용하여 기상(vapor)으로 만들고 이 기상이 기판(substrate)에 도달하여 박막이 형성되는 것을 의미한다. 진공을 유지하는 이유는 편균 자유행정을 길게 하고 금속의 산화를 방지하면 또 불순물의 혼입ㄴ을 피할 수 있기 때문이다. 열증착(thermal evaporation)이라고도 불리는데 이는 작은 도가니 (boat)에 시료를 넣고 고온으로 가열하여 증발시킴으로써 얇은 박막을 제작하는 방법을 일컫는다.

참고 자료

없음