멤스 MEMS
- 최초 등록일
- 2010.10.13
- 최종 저작일
- 2010.10
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소개글
멤스 MEMS
목차
01. MEMS 의 정 의
02. MEMS 의 역사 와 정의의 변화
03. MEMS 의 장점
04. MEMS 제조 공정 기술
05. MEMS 의 사용 과 응용 분야
06. MEMS 실용화의 단점
07. MEMS 기술 시장 의 전망
본문내용
*MEMS/NANO Dimension
NANO technology
나노미터 크기의 물질들의 현상들 정렬, 조합하여 시스템 생산하는 과학과 기술 통칭
MEMS
입체적 구조와 센서 실리콘 기판위에 집적화 시킨 것으로 소형이며 고도의 동작하는 시스템
01. MEMS Definition
MEMS 의 정의
MEMS 의 약자 Micro Electro Mechanical Systems
MEMS 란 ? 초소형 시스템, 초소형 기계
현미경에 의하지 않고서는 형체를 알 수 없을 정도로
작은 기계가 공상 소설의 영역을 벗어나 이제 현실 공학의
새로운 분야로 정착.
전기적 기계성질을 가지며, 단순히 작은 기계가 아니라
시스템적 요소가 내재되어 있음
참고 자료
없음