CVD 공정

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CVD 공정기술에 대한 기초이해
CVD의 원리 CVD분류별 설명등등 기초이해에 필요한 자료

본문내용

반응 기체의 물질 이동
기판 표면으로 반응기체의 확산
표면 위에 반응물들의 흡착
반응물들의 표면 화학반응.
부산물의 탈착
부산물의 확산

APCVD (Atmospheric Pressure CVD)
*장점

→ 간단한 반응기 구조.

→ 증착 속도가 빠름.

→ 직경이 큰 웨이퍼도 용이하게 증착.

* 단점

→ step coverage 특성이 나쁨.

→ 많은 가스 사용 필요.

→ 높은 가스 유속이 요구.

참고 자료

없음

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