[반도체재료] 박막증착

등록일 2002.05.10 한글 (hwp) | 10페이지 | 가격 1,000원

목차

<박막제작방법>
1. 물리적 증착법 (PVD, Physical Vapor Deposition)
■진공 증착법(Vacuum Evaporation)
■ 이온 스퍼터링
2. 화학적 증착법
1. 작업 원리 및 과정
2. 관련설비
3. 피복층 조직
4. 화학적 증착법의 특징
5. 적용 범위 및 응용

본문내용

박막이란, 두께가 단원자층에 상당하는 0.1nm에서 10μm정도의 두께를 가진 기판 상에 만들어진 고체 막으로 정의된다.이와 같은 박막은 형성과정이 보통의 덩어리재료(Bulk)와 다르기 때문에, 구조차이에 의한 막 고유의 특성을 보유하게 되고 두께가 얇아짐에 따른 형상효과를 나타내게 된다. 즉, 기존의 Bulk와는 전혀 새로운 전기적, 자기적 및 광학적 효과를 나타내며, 이런 현상을 이용하여 각종 전기소자, 집적회로, 광학부품 등 여러 응용분야에 이용되고 있다.
산업분야에 사용되는 박막기술은 수평 및 수직자기 기록매체, 광자기 기록매체, 박막헤드와 같은 정보기억용 매체 제작에 이용되며, LSI용 도전 및 절연 박막과 같은 마이크로 일렉트로닉스(M.E)용 박막재료 및 기능성 박막재료 제작에 사용되고 있다. 이처럼 박막재료는 고도첨단기술을 담당하는 기본적 기술의 하나로서 이후에도 이 기술의 중요성이 한층 더 심화되고 있다.
<박막제작방법>
이와 같은 박막을 제작하는 방법으로는 수많은 방식이 제안되고 있으며, 각 방식들은 서로 특징 상 큰 차이점을 나타내고 있다. 따라서, 증착되는 박막의 특성과 용도 등에 맞는 최적의 박막제작법을 선택하는 것이 중요하다.

참고 자료

http://www.kyungwon.ac.kr/~khkim/plasma.htm
http://metal.or.kr/new/college/lecture/surfacetreat/sur01-05.htm
http://metal.or.kr/new/college/lecture/surfacetreat/sur01-05-01a.htm
http://metal.or.kr/new/college/lecture/surfacetreat/sur01-05-01b.htm
http://metal.or.kr/new/college/lecture/surfacetreat/sur01-05-01c.htm
http://metal.or.kr/new/college/lecture/surfacetreat/sur01-05-02a.htm
http://metal.or.kr/new/college/lecture/surfacetreat/sur01-05-02b.htm
http://metal.or.kr/new/college/lecture/surfacetreat/sur01-04-01a.htm
http://metal.or.kr/new/college/lecture/surfacetreat/sur01-04-01b.htm
http://metal.or.kr/new/college/lecture/surfacetreat/sur01-04-01c.htm
*원하는 자료를 검색 해 보세요.
  • [재료 금속 박막 증착] PVD CVD(박막) 19페이지
    박막박막 증착 최근에는 덩어리재료(Bulk materials ... deposition) 화학증착 또는 그대로 기상도금이라고도 한다 ... (Substrate)위에 박막(Thin Film)을 성장시키고 이용하고자
  • [공학기술]박막 공정,PVD,증착,진공증착,스퍼터링 보고서 70페이지
    기술로써 CVD 및 PVD의한 기상증착이 주목을 받고, 이후 표면개질법의 ... . 증착의 요구 조건11p 4. PVD12p 4.1. PVD의 정의12p 4 ... .2. PVD의 특성14p 4.3. 진공증착법16p 4.3.1. 진공증착
  • [물리]스퍼터링에 의한 박막 증착, 예비보고서 23페이지
    : 화학적 기상성장)기술로 나눌 수 있다. PVD는 목적하는 박막의 구성 ... 미세구조의 박막증착할 수 있다. 또한 기존의 스퍼터링보다 챔버의 잔류 ... 실험제목: 때려내기에 의한 박막 증착 실험목적: 박막 성장 방법 중의
  • [박막 증착] PVD의 원리와 종류 9페이지
    PVD (Physical Vapor Deposition, 물리증착법 ... 학에서 “sputtering”이라고 말한다. 박막 증착 ... . Sputtering process의 가장 우수한 특성은 증착된 물질의 기상
  • [물리]스퍼터링에 의한 박막 증착, 결과보고서 10페이지
    박막증착한다 1. 실험 요약 본 실험은 아래의 스퍼터링 장비를 사용하여 ... 그림 스퍼터링 시스템의 구조 실리콘 기판에 구리 박막증착 ... 방법에 따라 DC와 RF 스퍼터링으로 실리콘 기판에 구리 박막증착
  • 증착법, 스퍼터링, 박막 공정 (THIN FILM PROCESS)의 기초 41페이지
    증착법(PVD) 화학 기상 증착법(CVD) 개 요 개 요 박막 공정의 정의 ... Thin Film Processing 목 차 박막 증착 물리 기상 ... Deposition, PVD) 화학 기상 증착법(Chemical Vapor
  • [재료공학실험] 박막증착실험(진공, pvd, cvd) 4페이지
    계의 박막증착이 용이하다. 3. PVD(Physical Vapor ... 공정 조건에 따라서 반응기체는 증착 표면에 이르기 전에 기상 ... 이로 인해 박막이 형성되게 된다. 이어서 기상의 부산물들은
더보기

이 자료와 함께 구매한 자료

      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      4. 지식포인트 보유 시 지식포인트가 차감되며
         미보유 시 아이디당 1일 3회만 제공됩니다.
      상세하단 배너
      최근 본 자료더보기
      상세우측 배너
      상세우측 배너
      추천도서
      [반도체재료] 박막증착