[박막] 박막의 특성

등록일 2002.05.05 한글 (hwp) | 3페이지 | 가격 1,000원

목차

박막의 역학적 특성

박막의 전기적,자기적 특성

박막의 광학적 특성

박막의 특성에 따른 용도

본문내용

(1)박막에서의 응력

박막을 기판위에 증착하는 경우 거의 모든 물질에 대해 변형이 발생한다. 이것은 박막 내의 내부응력 때문이며, 변형에는 두 가지 종류가 있다. 즉, 박막의 어떤 부분이 다른 부분을 인장하고 있는 상태와 압축하고 있는 상태이다. 전자의 내부응력을 인장응력(tensile stress)이라 하고, 후자를 압축응력(compressive stress)이라고 한다.
막 내의 모든 변형은 막이 기판에 단단하게 결합되어 있고, 그 후 막 내에서 체적 변화가 일어나는 사실과 관련되어 있다. 가해진 힘과 시편의 형태에 대해 응력의 분포를 계산할 수 있다.
박막 내에서의 응력은 기본적으로 두 가지 요소로 구성되어 있다. 이 가운데 한가지는 온도가 변화하는 동안 막과 기판과의 열팽창계수의 차에 의해 발생하는 열적응력(thermal stress)이고, 다른 하나는 진성응력(intrinsic stress)으로 막 형성시 많은 인자에 의존한다.
*원하는 자료를 검색 해 보세요.
  • [재료 금속 박막 증착] PVD CVD(박막) 19페이지
    박막박막 증착 최근에는 덩어리재료(Bulk materials ... (Substrate)위에 박막(Thin Film)을 성장시키고 이용하고자 ... 하는 연구가 큰 관심을 끌고 있다. 박막의 응용은 이용되는 물성에 따라
  • [재료공학] 플라즈마,PVD,박막형성기구 6페이지
    제작하였고, 저항히터는 세라믹 응고체 내부에 일자로 홈이 파여진 부분에 ... 플라즈마를 이용한 기상 증착법에 의해, 특히 박막 형태로 얻어지고 있으며 ... . ⊙ PVD증착법의 종류와 특징 PVD증착법의 종류에는 진공증착(저항가열
  • [박막 증착] PVD의 원리와 종류 9페이지
    PVD (Physical Vapor Deposition, 물리증착법 ... 말한다. PVD는 금속물질을 증발시키는 방법과 코팅될 때의 분위기와 반응 ... 하느냐에 따라 금형과 공구의 성능과 수명을 올릴 수 있다. 그 동안 PVD
  • 진공 및 박막의 전제척인 개념 및 박막의 3가지 성장모델, CVD & PVD 비교 정리 8페이지
    박막증착 할 때 깨끗한 환경을 제공해주고 박막증착 방법에 따라 다양한 ... . PVD와 CVD 둘의 차이는 증착시키려는 물질이 기판으로 기체상태에서 ... 점은 PVD는 진공 환경을 요구한다는 것이고 반면에 CVD는 수십~수백 Torr
  • 다기능 세라믹 박막의 내장화 기술에 대한 연구 7페이지
    다기능 세라믹 박막의 내장화 기술에 대한 연구 1. 연구배경 및 중요 ... 있고 이에 따라 각종 기판에 다양하게 적용 가능한 기능성 세라믹 박막 ... 세라믹 박막의 공정 온도 (600℃ 이상) 개념과는 전혀 다른 저온
  • [재료공학실험] 박막증착실험(진공, pvd, cvd) 4페이지
    계의 박막의 증착이 용이하다. 3. PVD(Physical Vapor ... 분자를 차단하여 박막두께를 조절할 수도 있다. PVD는 CVD와 비교하여 ... , 고순도의 박막형성이 가능하다. 그러나 PVD는 무엇보다도 CVD나 전기
  • 1. 전해연마 2. 전기도금 3. 박막공정 4. 세라믹공정 정리 9페이지
    것이다. 비교적 균일한 두께의 박막을 얻을 수 있다. 4. 세라믹공정 1 ... ) 세라믹공정은? 그림 일반적인 세라믹공정 1) 원료분말(Powder ... ) 세라믹은 보통 분말로 보관한다. 산화물: Al2O3, ZrO2, TiO2
더보기
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      4. 지식포인트 보유 시 지식포인트가 차감되며
         미보유 시 아이디당 1일 3회만 제공됩니다.
      상세하단 배너
      최근 본 자료더보기
      상세우측 배너
      추천도서
      [박막] 박막의 특성