TFT 기술개요, 단위공정&개선기술, 응용 및 최근기술 동향, 기술 관련 특허

소개글

디스플레이 공학에 관련된 수업 중 `디스플레이 프로젝트`입니다.
최근 화제가 되고 있는 TFT에 관한 프로젝트입니다.
TFT(Thin Film Transistor)에 관한 모든 것을 A TO Z 까지 상세하게 조사하였습니다.


TFT

1. 박막트랜지스터(Thin Film Transistor) 기술 개요
1.1 TFT 기술 개요
1.2 TFT 전체 제조 공정

2. TFT 단위공정 & 개선기술
2.1 TFT 단위공정 소개
2.1.1 박막증착 공정
2.1.2 식각 공정
2.1.3 포토리소그래피 공정
2.1.4 이온주입 공정

2.2 TFT 단위공정 개선기술 소개
2.2.1 박막증착 공정
- 원자층증착법
- 플라즈마 강화 원자층증착법
2.2.2 식각 공정
- 조성물 구성비에 따른 식각문제 해결
2.2.3 포토리소그래피 공정
- 포토리소그래피와 나노임프린트
- 리소그래피를 결합한 리소그래피 방법
2.2.4 이온주입 공정
- 플라즈마 이온주입기술
- 플라즈마 도핑을 이용한 이온주입기술
- 마스크를 이용한 이온주입기술

3. TFT 응용 및 최근 기술 동향
3.1 현재 TFT 산업 현황
3.2 향후 TFT 응용 기술

4. 기술 관련 특허

5. 결론

6. 참고문헌

위 내용을 상세하게 자료를 조사하고 그에 관한 내용을 그림과 함께 설명하였습니다.
예전 기술부터 최신기술까지 특허 분석을 토대로 최신 트렌드와 향후 전망까지 기술하였습니다.
TFT(Thin Film Transistor) 에 관한 것을 찾으시는 분은 이 자료를 통해서 TFT 에 관한 모든 것을
알게되실 수 있을 것입니다.
제 자료에 자부심이 있습니다!!!

목차

1. 박막트랜지스터(Thin Film Transistor) 기술 개요
1.1 TFT 기술 개요
1.2 TFT 전체 제조 공정

2. TFT 단위공정 & 개선기술
2.1 TFT 단위공정 소개
2.1.1 박막증착 공정
2.1.2 식각 공정
2.1.3 포토리소그래피 공정
2.1.4 이온주입 공정

2.2 TFT 단위공정 개선기술 소개
2.2.1 박막증착 공정
- 원자층증착법
- 플라즈마 강화 원자층증착법
2.2.2 식각 공정
- 조성물 구성비에 따른 식각문제 해결
2.2.3 포토리소그래피 공정
- 포토리소그래피와 나노임프린트
- 리소그래피를 결합한 리소그래피 방법
2.2.4 이온주입 공정
- 플라즈마 이온주입기술
- 플라즈마 도핑을 이용한 이온주입기술
- 마스크를 이용한 이온주입기술

3. TFT 응용 및 최근 기술 동향
3.1 현재 TFT 산업 현황
3.2 향후 TFT 응용 기술

4. 기술 관련 특허

5. 결론

6. 참고문헌

본문내용

1. 박막트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT) 기술 개요

우리조의 주제는 TFT 기술로써 특히 TFT 단위공정 기술에 중점을 두었다. TFT는 반도체나 디스플레이 산업의 주요 핵심기술로써 TFT 기술 응용을 토대로 보다 생산적인 신기술과 비용절감을 할 수 있는 방안을 찾아보고자 한다. 특히 우리 조는 TFT 특허 동향을 토대로 TFT 단위공정을 중심으로 기술 동향을 알아보았으며 크게 4가지 기술, 즉 박막증착기술, 식각기술, 사진패턴기술, 이온주입기술로 나누었다. 이를 토대로 각 기술 공정을 알아보고 기술의 문제점, 개선방안을 중심으로 새로운 기술의 특허를 찾아 조사해보는 방식으로 본 프로젝트를 진행하였다.


1.1 TFT 기술 개요

박막트랜지스터(TFT)란 기판 위에 진공증착 등의 방법으로 형성된 박막을 이용하여 만들어진 트랜지스터로, 반도체와 절연체, 그리고 금속의 박막을 차례로 증착하여 만든다. TFT 기술로 만들어진 디스플레이 화면은 각 픽셀마다 하나씩의 트랜지스터를 가지고 있다. 각 픽셀마다 트랜지스터를 가지고 있다는 것은, 픽셀에 빛이 나게 하는데 보다 적은 전류를 소모하며, 매우 빠르게 끄고 켤 수 있다는 것을 의미한다.
TFT는 액티브 매트릭스(active matrix) 기술이라고도 불리며, 이는 각 픽셀마다 트랜지스터를 가지고 있지 않은 "패시브 매트릭스(passive matrix)"기술과 대비되는 용어이다. TFT 또는 액티브 매트릭스 디스플레이는 변화에 보다 더 빠르게 반응한다. 예를 들어, 사용자가 마우스를 화면을 가로질러 움직일 때, TFT 디스플레이는 마우스 커서의 움직임을 반영할 만큼 충분히 빠르다는 것이다.

1.2 TFT 전체 제조 공정
· 증착 : 기본적인 글라스위에 최종 산출물을 글라에 얇게 도포하는 공정
· 세정 : 증착이 끝난 글라스위의 이물질을 제거
· 감광물질(Photo Registor) 코팅 : 세정이 끝난 글라스 위에 감광물질로 된 막을 형성

참고 자료

<특허>
김민경, 금속 실리콘 질화물 박막의 플라즈마 강화 사이클릭 증착 방법, 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 2009
신혜라, 박막 트랜지스터의 제조방법 및 상기 방법에 이용되는 식각액 조성물, 동우 화인켐 주식회사, 2008
신수범, 포토리소그래피와 나노임프린트 리소그래피를 결합한 리소그래피 방법, 주식회사 하이닉스반도체, 2007
성준경, 이온 주입 장치 및 이온 주입 방법, 주식회사 동부하이텍 , 2007

<논문>
J. K. Jeong et al., “Origin of threshold voltage instability in indium-gallium-zinc oxide thin film Transistors”, Appl. Phys. Lett. 93, 123508 (2008)
J. S. Park et al., “Novel ZrInZnO Thin-film Transistor with Excellent Stability”, Advanced Materials, 21, 329-333 (2009)

<신문기사>
은용주, 탄소나노튜브 상용화 지원위한 국제 나노포럼 개최, 아시아경제(www.newsva.co.kr), 2009

<인터넷 자료>
http://www.semipark.co.kr/semidoc/waferfab/ion_impt1.asp?tm=8&tms=4
http://gespenst.egloos.com/5141710
http://www.displaybank.com/new2004/common/terms.php?id=158
http://www.displaysearch.com/cps/rde/xchg/displaysearch/hs.xsl/login_required_dsm.asp?page=7066.asp

<단행본>
디스플레이 공학, 이준신저, 홍릉과학출판사, 2009 / 반도체 공정기술, 황호정저, 생능출판사, 2005