x선 분광법 - EPMA, XRD

소개글

X-선 분석법
현미경의 기본 역할은 시편을 좀 더 확대하여 관찰하는 것이고 많은 경우 확대만으로도 충분한 정보를 얻을 수 있지만 시편에 관계된 문제를 해결하기 위해서는 가능한 한 많은 정보를 얻는 것이 중요하다. 전자현미경에서 X-선 분석을 하면 확대된 영상과 함께 화학적인 정보를 동시에 알 수 있다. 전자 비임이 시편에 입사되면 열, 빛, 소리등과 함께 X-선도 함께 방출하는데, 전자 비임은 시편의 영상을 형성하는데 사용되고 X-선은 시편의 조성(composition)에 관련된 화학적인 정보를 제공한다.

목차

X-선 분석법
X-선 회절 분석기(XRD, X-ray Diffraction)
* X-선 발생장치(X-선 튜브)
* 고니오미터(GONIOMETER)
* 검출기와 계수기록회로(Electronic circuit panel)

본문내용

X-선 분석법
현미경의 기본 역할은 시편을 좀 더 확대하여 관찰하는 것이고 많은 경우 확대만으로도 충분한 정보를 얻을 수 있지만 시편에 관계된 문제를 해결하기 위해서는 가능한 한 많은 정보를 얻는 것이 중요하다. 전자현미경에서 X-선 분석을 하면 확대된 영상과 함께 화학적인 정보를 동시에 알 수 있다. 전자 비임이 시편에 입사되면 열, 빛, 소리등과 함께 X-선도 함께 방출하는데, 전자 비임은 시편의 영상을 형성하는데 사용되고 X-선은 시편의 조성(composition)에 관련된 화학적인 정보를 제공한다.
전자빔이 시편에 충돌하면 몇 가지 방법으로 X-선을 방출한다.
․ 연속 X-선(bremsstrahlung) :전자가 시편과 충돌하여 속도가 감소하거나 진행방향이 굴절되면서 모멘텀의 변화를 수반하는데, 이때 넓은 범위의 파장영역을 가지는 X-선이 발생한다.
․ 특성 X-선(Characteristic X-ray) : 입사전자가 시편 내 전자(inner shell electrons)를 교란시켜 X-선을 방출시키는데, 이는 외각(outer shell)의 전자가 빛을 방출하거나 진동하는 분자가 적외선을 방출하는 것과 유사하다. 정확히 말하면 입사전자가 시편의 내각의 전자를 방출시키고 외각(outer shell)의 전자(outer shell)가 내각(inner shell)의 궤도로 떨어지면서 발생하는 에너지를 X-선으로 방출하는 것이다.
관련 분석 기기장치는 파장 및 복사선의 강도를 측정하는 등의 동일한 기본적 기능을 수행하며 그 중 강력한 전자빔의 충격에 의해 X-선이 방출되는 방식으로 전자탐친 마이크로 분석법에 대해 알아보도록 한다.
▲ 특성X-선 발생 원리 ▲연속 X-선과 특성 X-선 .

전자탐침 마이크로분석기(Electron Probe Micro Analyzer)
비파괴 분석 방법인 EPMA(Electron Probe Micro Analyzer)는 고속으로 가속된 전자빔이 재료에 충돌하면서 발생하는 특성 X-선을 이용하여, 높은 공간 분해능을 갖고 마이크론 수준의 미세 원소의 정성 및 정량 분석을 수행할 수 있는 분석 기법이다. 다른 미세 분석 방법과는 달리 액상 시료 제작 혹은 고진공을 필요로 하지 않고 용이하게 사용할 수 있는

참고 자료

환경분석화학,
네이버.
구글