[재료공학] XRD (X-Ray Diffractometer) X선 회절

*장*

최초 등록일: 2002.04.10
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XRD는 X선을 이용하여 시료입자를 측정하는 기구로서
X-ray generator(X선 발생장치),Goniometer(고니오미터),Electrical circuit panel(계수 기록회로),Control/data processing unit(제어.연산장치)로 구성되어 있다.

◎ X-ray generator(X선 발생장치)

X선 발생장치는 X선 튜브, 고압전원, 고압제어회로, 냉각장치, 각종 보호회로 등으로 구성.

① X선 튜브
초기의 X선 발생장치에서는 음극관 가스 이온 X선 튜브와 고압 전원에 전자 감응 코일을 상용하고 있으나, 현재에는 열전자 X선 튜브와 고압 트랜스 정류회로를 사용하고 있다. 냉음극 가스 이온 X선 튜브는 동작이 블안정하고, 튜브 전압과 튜브 전류를 독립적으로 제어할 수 없는 결점이 있다.

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