진공기술에서 펌프와 게이지의 종류와 그 설명

소개글

진공기술에서 펌프와 게이지의 종류와 그 설명

목차

Rotary pump
Roots pump
Diffusion pump
Cryogenic pump
Turbo molecular pump
Sputter-ion pump

본문내용

Roots pump


주로 저진공, 중진공 영역에서 많이 쓰임
용량이 대용량이므로 다량의 공기를 배기시키는데
유리. (특히1Torr부터 10Torr 의 영역에서 대용량의
배기능력을 가지고 있음)
식품의 동결건조 공정등에서 우수한 성능을 발휘.

<단점>
배기부가 대기압인 경우 배기 능력을 상실하므로,
로타리 베인 펌프등 다른 보조펌프와 연결하여 사용함.


Sputter-ion pump

자기장 내의 방전에 의해서 기체를 이온화하고, 이것을 음극면에 모아 배기하는 펌프.
도달진공도(到達眞空度)가 낮고(10-11 Torr), 기름이나 수은을 사용하지 않으므로 통 속을 더럽히지 않는 것이 특징이다. 티탄 등이 게터(getter:가스 등을 흡착하여 진공도를 높이는 것)로서 작용하는 것을 이용한 스패터(spatter)이온펌프나 서블리메이션(sublimation)펌프가 실용화되고 있다.
방전에 의해서 생긴 이온이 방전용 음극면을 두들겨 음극표면의 티탄을 양극내면(陽極內面)과 게터용 음극면에 증착(蒸着)시킨다. 이 티탄들은 게터로 작용하여 통 속의 가스를 흡착한다. 서블리메이션펌프는 배기속도를 증가하기 위해 티탄을 대량으로 증발시켜 게터로서 작용을 하게 하는 것인데, 이온펌프를 병용하면 10-12 Torr까지의 진공을 얻을 수 있다. 자기장을 거는 것은, 방전로(放電路)를 길게 하여 이온화의 능률을 높이기 위한 것이다.

참고 자료

없음