[물리학(가속기)] 집속 이온빔 장치의 구조 및 기능

등록일 2001.11.08 한글 (hwp) | 25페이지 | 가격 1,500원

소개글

FIB(Focused Ion Beam System)에 관한 논문 입니다.
많은 자료와 그림이 있습니다.
이와 관련된 논문이나 보고서를 쓰실때 자료로 쓰실 수 있을 것입니다.

목차

제 1 장 서론
제 2 장 관련이론
2.l. 집속 이온빔 장치(Focused Ion Beam System)
2.1.1. 집속 이온빔 장치의 구조
2.1.2. 집속 이온빔 장치의 응용
2.1.3. 이온원 부
2.1.4. 빔 정렬 및 집속 부
2.1.5. 시료 처리 장치 및 화상처리부
2.2. 액체금속 이온원 (Liquid Metal Ion Source)
2.2.1. 이온원의 역사
2.2.2. 이온원의 발생원리
2.2.3. 이온원의 형태와 제작
2.2.4. 공융 합금 이온원
제 3 장 결론

본문내용

2.1. 집속 이온빔 장치(Focused Ion Beam System)
2.1.1. 집속 이온빔 장치의 구조
집속 이온빔 장치의 구조는 크게 세 부분, 즉 이온원 부분과 빔 정렬 및 집속을 위한 부분, 시료의 처리를 위한 부분으로 나눌 수 있다. 그림 2.1은 FIB(Focused Ion Beam)의 일반적인 구조이다.
집속 이온빔 장치란 액체금속 이온원으로부터 이온빔을 발생시키고 어느 한 방향으로 빔을 집속시켜 보낼 수 있도록 만들어진 장치를 말한다. 빔을 시료에 입사시킬 경우 그림 2.2와 같은 현상들이 일어나게 된다. 집속 이온빔 장치의 응용은 그림에서의 어느 한 경우를 이용하는 것이라 생각하면 된다.
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