[mems] MEMS에 대해서

등록일 2001.11.07 한글 (hwp) | 3페이지 | 가격 300원

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본문내용

Micro Electro Mechanical Systems의 줄임말로 반도체 칩에 내장된 센서, 밸브, 기어, 반사경, 그리고 구동기 등과 같은 아주 작은 기계장치와 컴퓨터를 결합하는 기술로서, 반도체 공정,특히 집적회로 기술을 응용한 마이크로머시닝 기술을 이용하여 ㎛ 단위의 초소형 센서나 액추에이터 및 전기 기계적 구조물을 제작 실험하는 분야이다. 마이크로머시닝 기술에 의하여 제작된 미세 기계는 ㎜ 이하의 크기 및 ㎛ 이하의 정밀도를 구현할 수 있다. 1970년대에는 반도체 제작 기술 및 주변회로를 내장한 집적화 된 센서를 개발하기 시작하여, 1980년대 초반에는 스프링, 캔틸레버 등의 미세 기계 요소 등을 제작하였다. 1980년대 후반에는 마이크로 집게, 모터, 기어 등의 기판에서 분리된 미세구조물을 제작하였으며, 1990년대에 이르러서는 센서,논리회로 및 액추에이터가 집적화된 형태로 발전되고 있다. 마이크로머시닝 기술의 장점은 초정밀 미세 가공을 통하여 소형화, 고성능 화, 다기능화, 집적화가 가능하며 안전성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다는 것 이다. 아울러, 일체화된 집적 시스템의 구현 가능으로 조립 필요성이 감소되 며, 일괄공정으로 제작되므로 값싸게 양산할 수 있다. 현재 연구중인 응용 분 야로는 자기 헤드, 프린터 헤드 등의 정보화 기기 분야
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