단위공정

등록일 2001.10.17 MS 워드 (doc) | 5페이지 | 가격 500원

목차

1.(a) Determine the exact number of 5 mm x 5 mm dies that will fit on a wafer with a diameter of 200 mm. Neglect the wafer flat and disregard the imperfect dies at the edges.
2.The cost of processing a wafer in a particular
process is $600. Supposing that 70% of the dies fabricated are good, answer the following.
3. dislocation 및 stacking faults에 관하여 설명하라.
4. Turbomolecular pump의 작동원리를 설명하라.

본문내용

터보분자펌프(Turbomolecular Pump) : 매우 청결한 기계적 압축 펌프이다. 터보 펌프는 기체 분자들의 운동량과 방향을 제시하여 고속 회전 vyays을 이용함으로써 배기하고, 부드럽게 작동하며 시스템 작동에 있어 거의 진동이 없고, 5 × 10^-10 torr다.더 적은 압력에 도달할 수 있는 순수 기계적 진공 펌프이다. 기체분자가 이동하는 표면을 때릴 때 고유의 속도를 유지한다. 여기에서는 약간 더 속도가 높아지고 이동하는 표면에 접근으로부터 약간의 범위차가 있다.
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