집적회로 종류와 공정

등록일 2001.10.08 한글 (hwp) | 10페이지 | 가격 300원

목차

1. 집적회로의 종류와 특징
2. 집적회로의 제조공정
3. IC 각 종류의 제조공정
① monolithic IC의 제조공정
② MOS IC
③ LSI
④ NMOS 기술外

본문내용

(1) 고순도 Si결정체의 제조
Si를 트랜지스터나 집적 회로의 재료로 사용하는 데에는 그 순도를 높이고 더욱 단결정화 하여야 한다. 먼저 화학적인 정제를 거쳐 어느 정도 순도를 높인 Si를 물리적인 정제법인 대역용융법에 의해 더욱 순도를 높인다. Si에서는 12나인이라고 부르는 고순도(99.999 999 999 9%)로 하지 않으면 안 된다. 화학적 정제로는 겨우 5나인 정도의 순도밖에 얻지 못한다.

참고 자료

『집적회로 반도체 소자와 공정』
양호언 『物理電子工學』
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      최근 본 자료더보기
      추천도서