박막화기술

등록일 2000.09.23 한글 (hwp) | 2페이지 | 가격 300원

본문내용

초전도재료의 박막화

일반적으로 박막화기술은 (1) 물질을 고온으로 가열하는 방법 (2) 이온공학기술을 이용하는 방법 (3) 화학반응을 이용하는 3가지 방법으로 대별할 수 있다.

(1)의 방법은 가열하는 방법에 따라서 저항가열법, EB법, 레이저법 등으로 나눈다.
(2)의 방법은 sputter법이나 cluster 이온빔법 등 물리적인 에너지를 이용해서 박막을 형성하는 방법이다.
(3)의 방법은 성분원소를 기체형태로 옮겨 기판상에서 분해, 반응시키는 방법이며 분해방식에 따라서 光CVD, ECR플라즈마 CVD 등으로 부른다.

이 자료와 함께 구매한 자료

      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      최근 본 자료더보기
      추천도서